真空泵的工作原理是什么 真空泵有哪几种?

时间:2022-08-22 15:55:21 来源: 星际派


真空泵的工作原理是什么 真空泵有哪几种?

真空泵的工作原理:利用偏心转子在泵腔内形成通过旋转产生体积的变化而将气体排出泵外,主要是在吸气过程中,吸气腔体积增大,真空度降低,将容器内气体吸入泵腔,在排气过程中体积变小,压强增大,最终通过油封将吸入的气体排出泵外。

真空泵有哪几种?

真空泵种类有很多,按工作原理可以分为:气体输送泵和气体捕集泵;按真空度可以分为:粗真空度、高真空度和超高真空度。

按工作原理分:

一、气体输送泵:

1、变容真空泵

1)往复式

2)旋片式:

(1)油封式:旋片、滑阀式、定片式、余摆线式、多室旋片式;

(2)干式螺杆;

(3)液环式;

(4)罗茨真空泵;

2、动量传输泵

1)分子真空泵:牵引分子泵、涡轮分子泵、复合分子泵;

2)喷射真空泵:液体喷射真空泵、气体喷射真空泵、蒸汽喷射真空泵;

3)扩散泵:自净化扩散泵、分馏式扩散泵;

4)扩散喷射泵;

5)离子输运泵;

二、气体捕集泵

1、吸附泵;

2、吸气剂泵;

3、吸气剂离子泵:蒸发离子泵、溅射离子泵;

4、低温泵;

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